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PR式等離子處理設備
產品簡介
真空等離子體處理設備適用于產品表面凈化、活化、粗化、刻蝕及接枝,可以用于處理各種材料,包括高分子材料,金屬或半導體等。
產品優勢
  • 人機交互系統
  • 適用于結構復雜的3D工件
  • 不改變機體固有特性,改性僅發生在表面
  • 全程干法處理,無污染
  • 低溫處理,適用于熱敏感材料
  • 高穩定性,使用壽命長
  • 低能耗,低保養費用
產品應用
  • 生物醫療:培養皿,生物導管,等離子殺菌
  • 電子行業:半導體,PCB
  • 光學玻璃
  • 汽車行業
  • 手機行業
  • 涂裝印刷
  • 家用電器
  • 合成纖維
產品參數
供給需求
  • 電源:380V/50Hz,三相,15A
  • 工藝氣體:輸入壓力0.2MPA
  • 吹掃氣體:輸入壓力0.2MPA
  • 壓縮空氣:輸入壓力0.6MPA
可選配置
  • 1%精度的真空規
  • 循環水冷機
  • 壓力控制器
  • 指示燈柱
  • 耐腐蝕性氣體的MFC
  • 真空泵

設備型號

技術配置

PR-80

PR-130

外形尺寸

980x950x1650mm

1050x1020x1750mm

反應腔尺寸

450x400x450mm

530x520x460

真空腔體材料

鎂鋁或316不銹鋼

真空泵

油泵/干泵(羅茨組合)

角閥

超高真空KF40

流量控制器及顯示儀

MKS 0-500 sccm

真空顯示規管及讀取器

ULVAC,INFICON

射頻電源

13.56 MHZ

PLC系統

西門子

電器系統

施耐德

變頻器

西門子2KW

觸摸屏

10.7寸

處理氣體

O2 Ar2 N2 H2 CF4

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